99.999% Sgàthan meòrachail ULE

Sgàthan Meòrachail Leudachadh Ultra-Ìosal (ULE) 99.999%

Nuair a bhios gach nanomeatair cudromach, 99.999% Sgàthan meòrachail ULE a’ lìbhrigeadh seasmhachd gun choimeas airson optaig a tha deatamach do mhisean. Air an dèanamh le glainne Corning ULE® fìor-ghlan, bidh na sgàthanan seo a’ cumail suas mionaideachd fo-ångström eadhon fo theodhachd anabarrach agus nochdadh EUV àrd-lùtha. Co-dhiù a tha thu a’ grinneachadh nodan leth-chonnsachaidh 3nm no a’ calabrachadh gyroscopan laser, bidh na sgàthanan againn a’ cuir às do chunnartan gluasad teirmeach agus saobhadh a chuireas siostaman optaigeach ann an cunnart.

Carson a thaghas tu na sgàthanan meòrachail ULE againn?

• Gun Saobhadh Teirmeach: Le CTE faisg air neoni (0 ± 30 ppb/°C), bidh na sgàthanan againn seasmhach a thaobh tomhasan bho -50°C gu 150°C, rud a tha deatamach airson litagrafaireachd leth-chonnsachaidh agus mothachairean stèidhichte air fànais. Bidh an seasmhachd seo a’ cur casg air mì-thaobhadh ann an innealan gnìomhachais teas àrd no àrainneachdan orbital fuar, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach far am biodh gluasadan teirmeach a’ milleadh cruinneas.
• Rèidh Ìre Atamach: Tha garbh-uachdar <0.5 nm RMS a’ dèanamh cinnteach à ath-fhaileasachd 99.999% airson tonnan-fada EUV (13.5 nm), rud a tha riatanach airson saothrachadh sliseagan 3nm. Bidh an crìochnachadh rèidh seo a’ lughdachadh sgapadh solais, a’ comasachadh pàtranadh ceart de chuairtean beaga bìodach ann an factaraidhean adhartach far a bheil eadhon neo-fhoirfeachdan nanosgèile a’ dèanamh cron air toradh.
• Air a thogail gus mairsinn: Tha còmhdach ioma-fhilleadh a’ seasamh an aghaidh crìonadh, a’ tabhann 18+ mìosan de choileanadh gun bhriseadh ann am factaraidhean 24/7, a’ lughdachadh ùine downt airson ath-chur. Tha na còmhdach sin a’ seasamh an aghaidh fo-thoraidhean gràbhaladh plasma agus glanadh tric, a’ cumail suas ath-fhaileas ann an àrainneachdan saothrachaidh leth-chonnsachaidh cruaidh.
• Deiseil airson Gnàthachadh: Trast-thomhasan gnàthaichte (suas ri 500mm), còtaichean, agus fuasglaidhean sreapachaidh airson geoimeatraidh sònraichte an inneil agad, a’ dèanamh cinnteach à amalachadh gun fhiosta ann an siostaman litografaidh no rèiteachaidhean laser. Bidh an gnàthachadh seo a’ leasachadh èifeachdas optigeach, a’ cur às do chùisean freagarrachd a dh’ fhaodadh bacadh a chur air coileanadh ann an uidheamachd gnìomhachais sònraichte.

Chrìochan

Tagraidhean far a bheil mionaideachd as cudromaiche

• Innealan Litagrafaidh EUV: A’ meòrachadh solas 13.5 nm le call lùtha as lugha airson pàtranachadh wafer nas géire, rud a tha deatamach airson sgoltagan leth-chonnsachaidh 3nm agus nas lugha a dhèanamh. Bidh rèidhleanachd aig ìre atamach a’ dèanamh cinnteach à meòrachadh 99.999%, agus chan eil saobhadh teirmeach sam bith ann a chuireas casg air mì-thaobhadh, a’ meudachadh toradh ann an factaraidhean àrd-tomhas far a bheil buaidh dhìreach aig mionaideachd air èifeachdas cinneasachaidh.
• Sgrùdadh Wafer Leusair: Lorg lochdan fo-3nm le bhith a’ cleachdadh stiùireadh beam gun shaobhadh, air a chomasachadh le sgàthan le garbh-chruth RMS <0.5 nm. Tha an cruinneas seo a’ dèanamh cinnteach à mapadh lochdan ceart thar wafers, a’ cuideachadh luchd-saothrachaidh gus lochdan aithneachadh tràth agus ìrean sgudail a lughdachadh ann an cinneasachadh sliseagan adhartach.
• Siostaman Laser Àrd-chumhachd: Làimhsich gathan ìre kW gun lùbadh uachdar no milleadh còmhdach, le taing do chòmhdach ioma-fhilleadh seasmhach agus bun-stuthan seasmhach a thaobh teirm. Bidh na sgàthanan seo a’ cumail suas ionracas ann an suidheachaidhean gnìomhachais 24/7, a’ cur casg air tuiteaman coileanaidh ann an tagraidhean gearraidh, tàthaidh no giullachd stuthan.
• Optaig Fànais: Seasamh ri atharrachaidhean teirmeach orbital fhad ‘s a chumas iad co-thaobhadh optigeach, a’ cleachdadh stuthan CTE faisg air neoni a tha an aghaidh atharrachaidhean meudach bho -50 ° C gu 150 ° C. Tha an seasmhachd seo a’ dèanamh cinnteach à ìomhaighean cunbhalach ann an saidealan agus teileasgopan, far am biodh mì-cho-thaobhadh air adhbhrachadh le teirmeach a’ cur bacadh air dàta deatamach misean.

Earbsa bho stiùirichean ann an optaig mionaideach

> “Ag atharrachadh gu an cuid 99.999% Sgàthan meòrachail ULE lughdaich e an ùine downtaidh aig an inneal litografaidh againn le 40%.– Prìomh 5 OEMan leth-sheoltairean

> “Gun dì-mhilleadh còmhdach às dèidh 9 mìosan anns an t-seòmar EUV àrd-falamh againn.”Obair-lann Optaigeach Adhartach

Taic Chruinneil, Astar Ionadail

• Prototàipeadh Luath: Faigh dealbhaidhean gnàthaichte ann an 8-12 seachdainean le meatreòlas air a bharrrachadh le AI.
• Deuchainn gun chunnart: Iarr sampallan le geallaidhean coileanaidh.
• Dearbhadh Slabhraidh Solarachaidh: Luingearachd DDP, stoc co-chuir, agus taic theicnigeach 24/7 thar 15 dùthaich.

Ceistean Cumanta: Freagairtean do na prìomh cheistean agad

1. Ciamar a leasaicheas purrachd 99.999% coileanadh EUV?

Bidh glainne ULE fìor-ghlan a’ lughdachadh sgapadh solais, a’ dèanamh cinnteach à ath-fhaileasachd >99.999% airson èifeachdas as motha anns an inneal litagrafaidheachd.

2. An urrainn dhomh neo-àbhaisteach fhaighinn 99.999% Sgàthan meòrachail ULE cumaidhean?

'S e - tha sinn a' speisealachadh ann an dealbhaidhean eliptigeach, ceart-cheàrnach agus neo-chothromach airson suidheachaidhean optigeach sònraichte.

3. Dè na dòighean glanaidh a tha sàbhailte?

Cleachd glanadh sneachda CO2 no plasma – bidh sinn a’ toirt seachad protocolaidhean mionaideach le gach òrdugh.

4. Dè cho fada ’s a mhaireas còmhdach?

Bidh na sreathan ioma-fhillte againn a tha air an leasaichte airson EUV a’ cumail ath-fhaileasachd >95% airson còrr is 10,000 uair nochdaidh.

5. A bheil sibh a’ toirt taic do òrdughan R&D ann am baidsean beaga?

Gu cinnteach. Bidh sinn ag obair le companaidhean ùra agus deuchainn-lannan rannsachaidh air òrdughan cho ìosal ri 5 aonadan.

Deiseil airson cuir às do dh’fhulangas teirmeach?

Ceistean? Cuir fios chun sgioba optaigs againn: xachaona@163.com mu dheidhinn Sgàthan meòrachail 99.999% ULE.