Sgàthan cuasach còmhnard calcium fluoride call àrd

 Optaig mionaideach airson tagraidhean dùbhlanach

Tha ar n- Sgàthan cuasach còmhnard calcium fluoride call àrd air a dhealbhadh airson innleadairean agus luchd-rannsachaidh a dh’ fheumas coileanadh gun cho-rèiteachadh aig tonnan-fada ultraviolet (UV). Air an dèanamh le calcium fluoride sintéiseach (CaF₂) fìor-ghlan, bidh na sgàthanan seo a’ lìbhrigeadh call sùghaidh <0.05% aig 193nm agus 248nm - deatamach airson litagrafaidheachd leth-chonnsachaidh, cumadh beam laser, agus siostaman meatreòlais far am faod gluasad teirmeach agus sgapadh cruinneas a chuir às a chèile.

Sùil air prìomh shònrachaidhean

Far a bheil ar sgàthanan a’ soirbheachadh

1️⃣ Siostaman Litagrafaidh DUV: Cùm ionracas a’ ghatha ann an optaig àrd-NA le glè bheag de shaobhadh aghaidh-tonn, eadhon fo nochdadh UV fada, a’ cleachdadh fo-stratan cruaidhte le rèididheachd agus cruinneas uachdar λ/10 - deatamach airson feartan fo-7nm a phàtranachadh far am biodh saobhadh a’ milleadh cruinneas cuairte ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh adhartach.

2️⃣ Innealan Giullachd Leusair: Seasamh ri leusairean excimer àrd-chumhachd agus seasamh an aghaidh lionsachadh teirmeach – freagarrach airson meanbh-innealachadh agus ablation film tana, a’ cleachdadh chòtaichean ìosal-sùghaidh (call <5 ppm) agus seasmhachd teirmeach suas ri 300°C gus casg a chuir air lùbadh a’ ghatha, a’ dèanamh cinnteach à gearraidhean cunbhalach ann an saothrachadh electronics agus cinneasachadh innealan meidigeach.

3️⃣ Sgrùdadh Wafer: Coilean call sgapaidh <0.1% airson uireasbhaidhean fo-10nm a lorg ann an nodan adhartach, le taing do rèidhleanachd fo-ångström (<0.12nm Ra) a chuireas às do leughaidhean meallta bho neo-riaghailteachdan uachdar, a’ comasachadh smachd càileachd earbsach ann an loidhnichean cinneasachaidh chip 3nm agus nas fhaide air falbh.

4️⃣ Suidheachaidhean Meatreòlais: Cuir an comas tomhasan EUV mothachail air ìre le rèidhleanachd uachdar λ/10, còmhla ri faileasachd 99.999% gus ionracas an t-soidhne a ghleidheadh, a’ dèanamh cinnteach à mion-sgrùdadh tomhasach mionaideach ann am meatreòlais leth-chonnsachaidh far am faodadh mearachdan tomhais buaidh a thoirt air dearbhadh coileanaidh innealan.

Gèilleadh Earbsach

• ✅ Teisteanas ISO 9001:2015: A’ dèanamh cinnteach à riaghladh càileachd cunbhalach thar cinneasachadh, bho cho-phàirtean litagrafaireachd DUV gu sgàthanan meatreòlais, le smachdan pròiseas teann a lughdaicheas caochlaideachd - deatamach do factaraidhean leth-chonnsachaidh a tha an urra ri coileanadh cunbhalach ann an optaig àrd-NA agus innealan sgrùdaidh.
• ✅ Smachd Truailleadh SEMI F47: A’ coinneachadh ri inbhean teann airson mìrean agus gasaichean a-mach ann an àrainneachdan seòmraichean-glan, a’ cur casg air meanbh-thruailleadh ann an lithografaidh DUV agus suidheachaidhean sgrùdaidh wafer far am faodadh eadhon mìrean beaga bìodach feartan fo-10nm a mhilleadh rè saothrachadh leth-chonnsachaidh.
• ✅ A’ gèilleadh ri RoHS/REACH: A’ cur às do stuthan cuibhrichte ann an stuthan, a’ dèanamh cinnteach à amalachadh sàbhailte ann an innealan giullachd laser agus siostaman meatreòlais, a’ co-thaobhadh ri riaghailtean àrainneachdail cruinneil airson saothrachadh electronics, bho factaraidhean stèidhichte san EU gu mòr-ionadan leth-chonnsachaidh Àisianach.
• ✅ Lorg-lorg iomlan stuthan: A’ cumail sùil air gach pàirt bhon t-substrate amh chun a’ chòta mu dheireadh, a’ comasachadh mion-sgrùdadh freumhach airson cùisean coileanaidh sam bith ann an suidheachaidhean giullachd litografaidh no laser, a’ toirt taic do sgrùdaidhean càileachd agus dearbhadh earbsachd ann an cinneasachadh leth-chonnsachaidh adhartach.

A rèir do fheumalachdan

Tha sinn a’ speisealachadh ann am fuasglaidhean gnàthaichte:

• Rèididhean Lùbadh: 100mm – 2000mm
• Fosglaidhean: Ø10mm – Ø300mm
• Còmhdaichean: AR dà-thonnfhaid, sreathan dìon
• Cunbhalachd baidse: CV bho bhaidse gu baidse <2%

Carson a thaghas innleadairean sinn

• 15+ Bliadhna ann an Optaig DUV
• Lìbhrigeadh 98% ann an àm airson òrdughan >500 aonad
• Ìre Locht <0.1% (air a dhearbhadh le MIL-STD-883)
• Logistics Cruinneil le com-pàirtichean le teisteanas leth-sheirbheiseach

Deiseil airson an siostam optigeach agad a bharrachadh?

1. 📩 Iarr Luachan Gnàthaichte (Freagairt 48 uair)

2. 📥 Luchdaich sìos an duilleag-dàta slàn

3. 🕒 Clàraich Co-chomhairle Innleadaireachd

Ceistean Bitheanta

❓ Ciamar a nì iad seo Sgàthan cuasach còmhnard calcium fluoride call àrd a’ cumail follaiseachd UV?

Bidh am pròiseas fàis criostail againn fhèin a’ cuir às do neo-chunbhalachdan a dh’ adhbhraicheas gabhail a-steach UV, a’ dèanamh cinnteach à tar-chuir >99% aig 193nm eadhon an dèidh còrr is 10,000 cearcall laser.

❓ Dè na dòighean glanaidh a tha sàbhailte?

Cleachd gas naitridean air a shìoladh no fuasgladh 1:1 IPA/uisge dì-ionichte. Seachain sguabadh meacanaigeach mura h-eil sin riatanach.

❓ An urrainn dhut coinneachadh ri meudan neo-àbhaisteach?

'S e! Tha sinn air sgàthanan a dhèanamh suas gu Ø300mm le radius lùbte sìos gu 50mm airson innealan rannsachaidh EUV.

❓ Ciamar a gheibhear seasmhachd teirmeach?

Bidh sinn a’ leasachadh geoimeatraidh sgàthan le bhith a’ cleachdadh atharrais FEM gus dìoladh a dhèanamh airson co-èifeachd leudachaidh teirmeach CaF₂ (18.9 × 10⁻⁶/K).

A bheil barrachd cheistean agad?

Cuir fios chun na h-innleadairean optaigeach againn aig xachaona@163.com airson taic phearsantaichte.

Leasaich do choileanadh optaigeach leis an Sgàthan cuasach còmhnard calcium fluoride call àrd—far a bheil cruinneas a’ coinneachadh ri earbsachd.