Sgàthan spherical call ìosal calcium fluoride

Sgàthan Spherical Call Ìosal Calcium Fluoride: Optaigs Mionaideach airson Tagraidhean an Ath Ghinealaich

Nuair a bhios a h-uile foton cudromach, bidh ar Sgàthan spherical call ìosal calcium fluoride a’ lìbhrigeadh coileanadh gun choimeas ann an litagrafaidheachd ultraviolet anabarrach (EUV), leusairean ultra-luath, agus siostaman optigeach mionaideach. Air an innleachadh le CaF₂ synthetigeach de ghlanachd 99.99%, bidh na sgàthanan seo a’ lughdachadh call solais gu <10 ppm fhad ‘s a tha iad a’ cumail suas ionracas structarail fo rèididheachd àrd-chumhachd. Co-dhiù a tha thu a’ leasachadh saothrachadh sliseagan no a’ putadh crìochan fiosaig leusair, tha na sgàthanan againn a’ tabhann cruinneas uachdar fo-nanometer agus seasmhachd teirmeach (±5 ppb/K) airson tagraidhean èiginneach.

Carson a tha na sgàthanan againn a’ seasamh a-mach

• Gabhail a-steach glè ìosal: Coileanadh ath-fhaileasachd 99.999% aig tonnan-fada 13.5 nm, a’ lughdachadh sgudal lùtha agus saobhadh teirmeach, rud a tha deatamach airson saothrachadh leth-chonnsachaidh EUV far am biodh eadhon gabhail a-steach beag a’ cur dragh air pàtrain wafer, a’ dèanamh cinnteach à cleachdadh èifeachdach foton ann am pròiseasan lithagrafaidh àrd-chruinneas.
• Seasmhachd Teirmeach: Cùm cruinneas tomhasach ±0.01% eadhon aig 100°C, freagarrach airson innealan litografaidh EUV àrd-chumhachd, a’ cur casg air mì-thaobhadh ann an loidhnichean saothrachaidh leth-chonnsachaidh far am faodadh spìcean teòthachd buaidh a thoirt air clò-bhualadh chuairtean nanosgèile, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach ann an obrachaidhean teas-dian.
• Mionaideachd Nanoscale: Tha garbh-chruth uachdar <0.12 nm Ra (air a dhearbhadh tro phròifilometer Zygo) a’ dèanamh cinnteach à call sgapadh as ìsle, rud a tha deatamach airson optaig EUV agus siostaman conaltraidh cuantamach far am biodh fotonan sgapte a’ lughdachadh ionracas an t-soidhne, a’ freagairt ris a’ mhionaideachd a tha a dhìth airson tagraidhean optaigeach adhartach.
• Dealbhaidhean Gnàthaichte: Tagh trast-thomhasan bho φ12.7mm gu φ100mm, le radius lùbte (500–8000mm) air an dèanamh freagarrach don t-suidheachadh optigeach agad, a’ freagairt gu rèidh air ionnstramaidean obair-lann teann agus uidheamachd saothrachaidh leth-chonnsachaidh mòr-sgèile, ag atharrachadh gu riatanasan teicnigeach eadar-mheasgte le mionaideachd.

Chrìochan

Nota: Faodar mion-chomharrachadh a dhèanamh freagarrach do na feumalachdan sònraichte agad.

Prìomh thagraidhean

• Lithografaidh EUV: A’ comasachadh cinneasachadh sliseagan fo-7nm le sgàthanan a sheasas an aghaidh gluasad teirmeach agus truailleadh, a’ cleachdadh ath-fhaileasachd 99.999% aig 13.5nm agus seasmhachd tomhasach ±0.01% aig 100°C gus slighean foton mionaideach a chumail suas, rud a tha deatamach airson pàtrain a dhèanamh de chuairtean beaga bìodach gun shaobhadh bho theas no sprùilleach.
• Lasairean Femtosecond: Lùghdaich saobhadh cuisle ann an cuasan laser ultra-luath tro chruinneas nanosgèile (garbhachd uachdar <0.12nm Ra), a’ dèanamh cinnteach gu bheil cuislean a’ cumail an cumadh agus an lùth - tha seo a’ lughdachadh sgapadh, rud a tha deatamach airson tagraidhean leithid micromachining agus speactroscopaidh far a bheil ionracas cuisle a’ dearbhadh thoraidhean.
• Siostaman Meatreòlais: Leasaich cruinneas tomhais le neoni milleadh fon uachdar, còmhla ri dealbhaidhean gnàthaichte (trast-thomhasan φ12.7mm–φ100mm) a tha a’ freagairt gu rèidh ri suidheachaidhean calabrachaidh. Bidh na h-uachdaran ultra-rèidh a’ cur às do sgapadh, a’ dèanamh cinnteach nach eil leughaidhean air an claonadh le neo-fhoirfeachdan stuthan, rud a tha deatamach airson mion-sgrùdadh tomhasach àrd-chruinneas.

Air a thogail airson earbsachd

gach Sgàthan spherical call ìosal calcium fluoride a' dol:

• Deuchainn eadar-theachdaireachd agus speactroscopaidh 100%: Dearbhaich rèidhleanachd uachdar agus coileanadh speactral gach pàirt, a’ dèanamh cinnteach à meòrachadh 99.999% aig garbh-cheàrnachd 13.5nm agus <0.12nm Ra - deatamach airson sgàthan litografaidh EUV agus uamhan laser femtosecond far am faodadh eadhon claonaidhean beaga cruinneas a mhilleadh.
• Samhlachaidhean cuideam àrainneachdail (cearcall teirmeach, taiseachd): Cuir pàirtean fo atharrachaidhean bho -50°C gu 300°C agus taiseachd 95% gus atharrais a dhèanamh air suidheachaidhean fìor, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd ann an innealan EUV agus siostaman meatreòlais ag obair ann an diofar àrainneachdan gnìomhachais no obair-lann gun lùghdachadh coileanaidh.
• Dearbhadh treas-phàrtaidh airson gèilleadh ri SEMI agus ISO 9001: Bidh sgrùdaidhean neo-eisimeileach a’ dearbhadh gu bheilear a’ cumail ri inbhean gnìomhachas leth-chonnsachaidh (SEMI) agus siostaman riaghlaidh càileachd (ISO 9001), a’ toirt dearbhadh do luchd-dèiligidh chàraichean is itealain gu bheil co-phàirtean a’ coinneachadh ri riatanasan teann earbsachd is cunbhalachd airson tagraidhean àrd-chunnart.

Tha earbsa aig stiùirichean gnìomhachais

Bidh sinn a’ solarachadh sgàthanan do OEMan le teisteanas ASML agus prìomh obair-lannan rannsachaidh, a’ tabhann:

• Riochdachadh Sgèileachail: Comas bliadhnail de 10,000+ aonad.
• Taic Innleadaireachd 24/7: Co-dhealbhaich còtaichean no geoimeatraidhean sònraichte do thagraidhean.
• Barantas Fad-beatha: Coileanadh cinnteach gun delamination no birefringence.

Tha ceistean?

C: Dè an follaiseachd UV a dh’ fhaodas mi a bhith an dùil aig 13.5 nm?

A: Bidh na sgàthanan againn a’ coileanadh tar-chur >99% aig 13.5 nm le còmhdach ioma-fhilleadh Mo/Si.

C: Ciamar a nì thu cinnteach gu bheil garbh-uachdar <0.5 nm?

A: Bidh sinn a’ cleachdadh crìochnachadh magnetorheological (MRF) agus tomhais làn-tricead dearbhte le Zygo.

C: A bheil na sgàthanan agaibh a rèir ITAR?

A: Tha – bidh sinn a’ toirt seachad roghainnean gun ITAR agus fo smachd EAR airson luchdan cruinneil.

C: An urrainn dhut sgàthanan a dhèanamh os cionn φ100mm?

A: Tha trast-thomhasan gnàthaichte suas gu φ500mm rim faighinn le cruinneas lùbte ±0.05%.

Deiseil airson an siostam optigeach agad a bharrachadh?

Seòladh post-dealain xachaona@163.com airson luachan no co-chomhairle theicnigeach mu dheidhinn Sgàthan spherical call ìosal calcium fluorideLeig dhuinn innleadaireachd a dhèanamh air an fhuasgladh mionaideach agad an-diugh.