Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss

① Meud
1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5) 2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
② Meud tòiseachaidh: φ7.5-45
③ Meud sgìre còmhdaich: meud àbhaisteach D12.7, meud sgìre còmhdach 7.5; Meud sgìre còmhdach D25 10, faodar meud raon còmhdach eile a ghnàthachadh
④ Curvature: SR = 500-8000 (gnàthaich), cruinneas curvature ± 0.05%
⑤ Cruinneas uachdar: λ/ 8@632.8nm
⑥ Cruinneas spherical: 30 "-3"
⑦ Roughness: Ra0.12nm (Zygo profilometer) raon deuchainn 173 * 173um làn tricead tomhas
⑧Coating riatanas: wavelength 420nm-3000nm, meòrachadh ≥99.999%, call 2-6ppm, tar-chur 3-5ppm
Frith-mheòrachadh air ais;
⑦ Stuth: sapphire
Nota: Chan eil na comharran sònraichte cuingealaichte ris an raon gu h-àrd, agus faodar an gnàthachadh a rèir feumalachdan an neach-cleachdaidh.
Iarrtas: leusair super seasmhach, lorg optigeach àrd-chinnt
bathar Tuairisgeul

Sgàthan Còmhnard Còmhnard Call Ìosal Sapphire airson Sgrùdadh Lithografaidh is Wafer EUV

Optaigs ultra-rèidh, ìosal-sùghaidh le garbh-uachdar <0.01 nm airson smachd solais mionaideach ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh.

Nuair a dh’ fheumas na siostaman optigeach agad coileanadh gun cho-rèiteachadh, an Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss a’ lìbhrigeadh. Air a dhealbhadh airson litagrafaidheachd ultraviolet anabarrach (EUV) agus sgrùdadh wafer àrd-chruinneas, tha an sgàthan seo a’ cothlamadh seasmhachd gun choimeas sapphire le cruinneas uachdar fo-nanometer gus call solais a lughdachadh agus èifeachdas an t-siostaim a mheudachadh.

Carson a thaghas tu ar Sgàthan Concave Flat Call Sapphire Super Low?

1. Mionaideachd a bheir cumhachd do ùr-ghnàthachadh

  • Garbh-uachdar fo-Ångström: Coilean garbh-uachdar Ra <0.12 nm (air a dhearbhadh tro phròifilometer Zygo) airson sgapadh solais as lugha, deatamach airson litagrafaidheachd EUV aig tonnan-fada 13.5 nm.
  • Seasmhachd Teirmeach: A’ seasamh an aghaidh teòthachd os cionn 200°C gun deformachadh, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach fo nochdadh dian EUV.
  • Lùban Gnàthaichte: Atharraich radii lùbte bho 500 mm gu 8000 mm (cruinneachd ±0.05%) gus a bhith a rèir riatanasan cumadh do bhìm.

2. Innleadaireachd airson Gun Cho-rèiteachadh

  • Call Optaigeach Ultra-Ìosal: Ìrean meòrachaidh ≥99.999% thar tonnan-fada 420–3000 nm, a’ lughdachadh sgudal lùtha gu dìreach 2–6 ppm.
  • Safair gun lochdan: Bidh fo-stratan safair sintéiseach a’ cuir às do neo-fhoirfeachdan criostail a bhios a’ lughdachadh rùn ìomhaighean ann an litagrafaidheachd leth-chonnsachaidh.
  • Deuchainn Dhian: Bidh gach sgàthan a’ dol tro sgrùdaidhean eadar-theachd-mheataireachd agus speactramaitreachd gus coinneachadh ri inbhean MIL-SPEC agus teisteanas ISO.

3. Fuasglaidhean airson Dùbhlain an Amàireach

  • Lithografaidh EUV: Leasaich lìbhrigeadh solais ann an siostaman coltach ri ASML le sgàthan a chumas cruinneas uachdar λ/8 eadhon an dèidh còrr is 10,000 uair de dh’obrachadh.
  • Innealan Sgrùdaidh Wafer: Lorgaidh iad uireasbhaidhean fo-5 nm le bhith a’ cleachdadh optaig a chaidh a dhealbhadh airson meatreòlas àrd-rèiteachaidh.
  • Siostaman Leusair: Lùghdaich call comharran ann an leusairean seasmhach le còtaichean an-aghaidh meòrachadh agus uachdaran rèidh.

Chrìochan

Sònrachadh luach
Tomhas

1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5)                                            

 2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)

Meud kickoff 7.5-45
Meud sgìre còmhdach meud àbhaisteach D12.7, meud raon còmhdach 7.5; Meud sgìre còmhdach D25 10, faodar meud raon còmhdach eile a ghnàthachadh
Curvature SR = 500-8000 (customizable), mionaideachd ± 0.05%
Cruinneas uachdar λ/8 @ 632.8nm
Cruinneas spherical 30"-3′
Garbh Raon deuchainn Ra0.12nm (Zygo profilometer) 173 * 173um tomhas làn tricead
chochall Cnuasachadh ≥99.999%, call 2-6ppm, tar-chur 3-5ppm
Raon tonn-thonn 420nm-3000nm
Dùthchasach Sapphire
faodar a ghnàthachadh a rèir feumalachdan an neach-cleachdaidh.

 

toradh-1-1

Air a thogail airson cruadal do ghnìomhachais

  • Lithografaidh Leth-chonnsachaidh: Lùghdaich mearachdan le sgàthanan a chumas rèidhleanachd fo-nm eadhon ann an seòmraichean EUV àrd-falamh, a’ cleachdadh cinneasachadh fo smachd ISO 9001: 2015 agus inbhean truailleadh SEMI F47 gus casg a chuir air saobhadh - deatamach airson saothrachadh nód 3nm far a bheil buaidh dhìreach aig cruinneas còmhdach air toradh sliseagan.
  • Siostaman Laser Aerospace: Dèan cinnteach à smachd earbsach air a’ ghathan ann an àrainneachdan cruaidh, le taing don chruas 9 Mohs aig sapphire còmhla ri gèilleadh RoHS/REACH, a’ seasamh an aghaidh sgrìoban bho sprùilleach agus a’ seasamh an aghaidh teòthachd anabarrach, gan dèanamh freagarrach airson conaltradh saideal agus siostaman dìon laser adhair.
  • Rannsachadh Saidheansail: Cuir an comas adhartasan ann am fotonaig agus coimpiutaireachd cuantamach le optaig call-ìosal, anns a bheil làn lorg stuthan agus rèidhleanachd fo-ångström gus briseadh comharran a lughdachadh, a’ toirt taic do dheuchainnean far a bheil mionaideachd agus cunbhalachd deatamach airson crìochan teicneòlais ùra fhuasgladh.

Tha earbsa aig Global Leaders

Tha ar n- Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss a’ coinneachadh ris na teisteanasan as cruaidhe:

  • ISO 9001/14001 airson riaghladh càileachd agus àrainneachd.
  • Gèilleadh ri SEMI S2/S8 airson amalachadh uidheamachd leth-chonnsachaidh.
  • Teisteanas RoHS/REACH airson smachd a chumail air stuthan cunnartach.

Tha aithisg làn-lorgachd le mion-fhiosrachadh LOT/ID air a toirt a-steach do gach sgàthan.

Gnàthachadh gun iom-fhillteachd

A bheil feum agad air dealbhadh neo-àbhaisteach? Tha sinn a’ tabhann:

  • Còmhdaichean Gnàthaichte: Sònraich lùban meòrachaidh mionaideach airson tonnan-fada bho UV gu IR.
  • Geoimeatraidhean Sònraichte: Iarr lùban neo-chothromach no fosglaidhean gnàthaichte airson innealan sònraichte.
  • Prototàipeadh Luath: Faigh sampallan gnìomhach ann an dìreach 6 seachdainean, le MOQan cinneasachaidh cho ìosal ri 5 aonadan.

toradh-1-1

CÀBHA

C: Ciamar a tha do Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss ìrean toraidh a leasachadh ann an litografaidh EUV?

A: Le bhith a’ cuir às do lochdan uachdar agus gluasad teirmeach, bidh na sgàthanan againn a’ lughdachadh mhearachdan còmhdach a dh’ adhbharaicheas sgudal wafer.

C: An urrainn dhomh sgàthan òrdachadh le raon còmhdach 45 mm?

A: 'S e! Bidh sinn a' gnàthachadh raointean còmhdaich a tha nas fhaide na meudan àbhaisteach gus freagairt air optaig an inneil agad.

C: Dè an taic a tha sibh a’ tabhann airson òrdughan mòra?

A: Gheibh òrdughan os cionn 10 aonadan prìomhachas ann an cinneasachadh, lasachaidhean meud, agus taic innleadaireachd sònraichte.

Deiseil airson na siostaman optaigeach agad a leasachadh?

Cuir post-d chun sgioba theicnigeach againn aig xachaona@163.com airson luachan no gus beachdachadh air a’ phròiseact agad Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss.

Teachdaireachd air-loidhne

Ionnsaich mu na toraidhean agus na lasachaidhean as ùire againn tro SMS no post-d