Sgàthan Còmhnard Còmhnard Call Ìosal Sapphire airson Sgrùdadh Lithografaidh is Wafer EUV
Optaigs ultra-rèidh, ìosal-sùghaidh le garbh-uachdar <0.01 nm airson smachd solais mionaideach ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh.
Nuair a dh’ fheumas na siostaman optigeach agad coileanadh gun cho-rèiteachadh, an Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss a’ lìbhrigeadh. Air a dhealbhadh airson litagrafaidheachd ultraviolet anabarrach (EUV) agus sgrùdadh wafer àrd-chruinneas, tha an sgàthan seo a’ cothlamadh seasmhachd gun choimeas sapphire le cruinneas uachdar fo-nanometer gus call solais a lughdachadh agus èifeachdas an t-siostaim a mheudachadh.
Carson a thaghas tu ar Sgàthan Concave Flat Call Sapphire Super Low?
1. Mionaideachd a bheir cumhachd do ùr-ghnàthachadh
- Garbh-uachdar fo-Ångström: Coilean garbh-uachdar Ra <0.12 nm (air a dhearbhadh tro phròifilometer Zygo) airson sgapadh solais as lugha, deatamach airson litagrafaidheachd EUV aig tonnan-fada 13.5 nm.
- Seasmhachd Teirmeach: A’ seasamh an aghaidh teòthachd os cionn 200°C gun deformachadh, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach fo nochdadh dian EUV.
- Lùban Gnàthaichte: Atharraich radii lùbte bho 500 mm gu 8000 mm (cruinneachd ±0.05%) gus a bhith a rèir riatanasan cumadh do bhìm.
2. Innleadaireachd airson Gun Cho-rèiteachadh
- Call Optaigeach Ultra-Ìosal: Ìrean meòrachaidh ≥99.999% thar tonnan-fada 420–3000 nm, a’ lughdachadh sgudal lùtha gu dìreach 2–6 ppm.
- Safair gun lochdan: Bidh fo-stratan safair sintéiseach a’ cuir às do neo-fhoirfeachdan criostail a bhios a’ lughdachadh rùn ìomhaighean ann an litagrafaidheachd leth-chonnsachaidh.
- Deuchainn Dhian: Bidh gach sgàthan a’ dol tro sgrùdaidhean eadar-theachd-mheataireachd agus speactramaitreachd gus coinneachadh ri inbhean MIL-SPEC agus teisteanas ISO.
3. Fuasglaidhean airson Dùbhlain an Amàireach
- Lithografaidh EUV: Leasaich lìbhrigeadh solais ann an siostaman coltach ri ASML le sgàthan a chumas cruinneas uachdar λ/8 eadhon an dèidh còrr is 10,000 uair de dh’obrachadh.
- Innealan Sgrùdaidh Wafer: Lorgaidh iad uireasbhaidhean fo-5 nm le bhith a’ cleachdadh optaig a chaidh a dhealbhadh airson meatreòlas àrd-rèiteachaidh.
- Siostaman Leusair: Lùghdaich call comharran ann an leusairean seasmhach le còtaichean an-aghaidh meòrachadh agus uachdaran rèidh.
Chrìochan
| Sònrachadh |
luach |
| Tomhas |
1)D=φ12.7-φ50.8mm(tolerance±0.1),H=4-8mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
2)D50.8-φ100mm(tolerance±0.1),H=10-25mm D:H>4:1(tolerance±0.5)
|
| Meud kickoff |
7.5-45 |
| Meud sgìre còmhdach |
meud àbhaisteach D12.7, meud raon còmhdach 7.5; Meud sgìre còmhdach D25 10, faodar meud raon còmhdach eile a ghnàthachadh |
| Curvature |
SR = 500-8000 (customizable), mionaideachd ± 0.05% |
| Cruinneas uachdar |
λ/8 @ 632.8nm |
| Cruinneas spherical |
30"-3′ |
| Garbh |
Raon deuchainn Ra0.12nm (Zygo profilometer) 173 * 173um tomhas làn tricead |
| chochall |
Cnuasachadh ≥99.999%, call 2-6ppm, tar-chur 3-5ppm |
| Raon tonn-thonn |
420nm-3000nm |
| Dùthchasach |
Sapphire |
| faodar a ghnàthachadh a rèir feumalachdan an neach-cleachdaidh. |

Air a thogail airson cruadal do ghnìomhachais
- Lithografaidh Leth-chonnsachaidh: Lùghdaich mearachdan le sgàthanan a chumas rèidhleanachd fo-nm eadhon ann an seòmraichean EUV àrd-falamh, a’ cleachdadh cinneasachadh fo smachd ISO 9001: 2015 agus inbhean truailleadh SEMI F47 gus casg a chuir air saobhadh - deatamach airson saothrachadh nód 3nm far a bheil buaidh dhìreach aig cruinneas còmhdach air toradh sliseagan.
- Siostaman Laser Aerospace: Dèan cinnteach à smachd earbsach air a’ ghathan ann an àrainneachdan cruaidh, le taing don chruas 9 Mohs aig sapphire còmhla ri gèilleadh RoHS/REACH, a’ seasamh an aghaidh sgrìoban bho sprùilleach agus a’ seasamh an aghaidh teòthachd anabarrach, gan dèanamh freagarrach airson conaltradh saideal agus siostaman dìon laser adhair.
- Rannsachadh Saidheansail: Cuir an comas adhartasan ann am fotonaig agus coimpiutaireachd cuantamach le optaig call-ìosal, anns a bheil làn lorg stuthan agus rèidhleanachd fo-ångström gus briseadh comharran a lughdachadh, a’ toirt taic do dheuchainnean far a bheil mionaideachd agus cunbhalachd deatamach airson crìochan teicneòlais ùra fhuasgladh.
Tha earbsa aig Global Leaders
Tha ar n- Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss a’ coinneachadh ris na teisteanasan as cruaidhe:
- ISO 9001/14001 airson riaghladh càileachd agus àrainneachd.
- Gèilleadh ri SEMI S2/S8 airson amalachadh uidheamachd leth-chonnsachaidh.
- Teisteanas RoHS/REACH airson smachd a chumail air stuthan cunnartach.
Tha aithisg làn-lorgachd le mion-fhiosrachadh LOT/ID air a toirt a-steach do gach sgàthan.
Gnàthachadh gun iom-fhillteachd
A bheil feum agad air dealbhadh neo-àbhaisteach? Tha sinn a’ tabhann:
- Còmhdaichean Gnàthaichte: Sònraich lùban meòrachaidh mionaideach airson tonnan-fada bho UV gu IR.
- Geoimeatraidhean Sònraichte: Iarr lùban neo-chothromach no fosglaidhean gnàthaichte airson innealan sònraichte.
- Prototàipeadh Luath: Faigh sampallan gnìomhach ann an dìreach 6 seachdainean, le MOQan cinneasachaidh cho ìosal ri 5 aonadan.

CÀBHA
C: Ciamar a tha do Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss ìrean toraidh a leasachadh ann an litografaidh EUV?
A: Le bhith a’ cuir às do lochdan uachdar agus gluasad teirmeach, bidh na sgàthanan againn a’ lughdachadh mhearachdan còmhdach a dh’ adhbharaicheas sgudal wafer.
C: An urrainn dhomh sgàthan òrdachadh le raon còmhdach 45 mm?
A: 'S e! Bidh sinn a' gnàthachadh raointean còmhdaich a tha nas fhaide na meudan àbhaisteach gus freagairt air optaig an inneil agad.
C: Dè an taic a tha sibh a’ tabhann airson òrdughan mòra?
A: Gheibh òrdughan os cionn 10 aonadan prìomhachas ann an cinneasachadh, lasachaidhean meud, agus taic innleadaireachd sònraichte.
Deiseil airson na siostaman optaigeach agad a leasachadh?
Cuir post-d chun sgioba theicnigeach againn aig xachaona@163.com airson luachan no gus beachdachadh air a’ phròiseact agad Sgàthan cuasach còmhnard Sapphire Super Low Loss.