Sgàthan Spherical Sapphire Super Loss

Sgàthan Spherical Sapphire Super Low Call: Innleadaireachd mionaideach airson sàr-mhathas ann an saothrachadh leth-sheoltairean

Sgàthan sapphire rèidh, ìosal-sgapadh, air an leasachadh airson fotolithografaidh, siostaman EUV, agus innealan sgrùdaidh àrd-chruinneas.

Air a dhealbhadh gus coileanadh optigeach ath-mhìneachadh ann an àrainneachdan anabarrach, ar Sgàthan Spherical Sapphire Super Loss A’ lìbhrigeadh sgapadh solais cha mhòr neoni agus seasmhachd gun choimeas airson saothrachadh leth-chonnsachaidh. Le garbh-uachdar <0.5 nm RMS agus meòrachadh 99.8% aig tonnan-fada EUV, is e seo an roghainn earbsach airson siostaman de sheòrsa ASML agus cinneasachadh sliseagan den ath ghinealach. [Iarr Sampall an-asgaidh airson Dearbhadh Coileanaidh]

Carson a thaghas tu ar sgàthan cruinneach call ìosal sapphire?

• Deuchainn eadar-theachdaireachd agus speactroscopaidh 100%: Dearbhaich rèidhleanachd uachdar agus coileanadh speactral gach pàirt, a’ dèanamh cinnteach à meòrachadh 99.999% aig garbh-cheàrnachd 13.5nm agus <0.12nm Ra - deatamach airson sgàthan litografaidh EUV agus uamhan laser femtosecond far am faodadh eadhon claonaidhean beaga cruinneas a mhilleadh.
• Samhlachaidhean cuideam àrainneachdail (cearcall teirmeach, taiseachd): Cuir pàirtean fo atharrachaidhean bho -50°C gu 300°C agus taiseachd 95% gus atharrais a dhèanamh air suidheachaidhean fìor, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd ann an innealan EUV agus siostaman meatreòlais ag obair ann an diofar àrainneachdan gnìomhachais no obair-lann gun lùghdachadh coileanaidh.
• Dearbhadh treas-phàrtaidh airson gèilleadh ri SEMI agus ISO 9001: Bidh sgrùdaidhean neo-eisimeileach a’ dearbhadh gu bheilear a’ cumail ri inbhean gnìomhachas leth-chonnsachaidh (SEMI) agus siostaman riaghlaidh càileachd (ISO 9001), a’ toirt dearbhadh do luchd-dèiligidh chàraichean is itealain gu bheil co-phàirtean a’ coinneachadh ri riatanasan teann earbsachd is cunbhalachd airson tagraidhean àrd-chunnart.

A’ toirt cumhachd do dh’ adhartasan ann an saothrachadh leth-sheoltairean

• Cruthachadh Beam Fotolithografaidh: Fòcas mionaideach air solas EUV (13.5 nm) airson cinneasachadh sliseagan nód 3nm le cruinneas uachdar λ/10, air a dhearbhadh tro dheuchainn eadar-theachdaireachd 100% gus dèanamh cinnteach nach eil saobhadh ann - deatamach airson pàtraineadh chuairtean beaga bìodach far am biodh eadhon mì-thaobhadh beag a’ milleadh feartan fìor-mhìn.
• Sgàthan Cruinneachaidh EUV: Meudaich èifeachdas foton ann an siostaman stoidhle ASML le bhith a’ cleachdadh còtaichean ioma-fhilleadh le call glè ìosal, còmhla ri deuchainnean cuideam àrainneachdail gus seasamh an aghaidh atharrachaidhean teirmeach/taiseachd, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach ann an factaraidhean àrd-tomhas far a bheil gach foton cudromach airson toradh.
• Ìomhaighean Dìreach Leusair (LDI): Cùm cruinneas ailineachaidh fo-micron tro chuairtean cuisle leusair 10⁸+, le taic bho dhearbhadh treas-phàrtaidh airson seasmhachd—tha an earbsachd seo a’ cur casg air gluasad ann an saothrachadh PCB, a’ dèanamh cinnteach à lorgan cuairte mionaideach ann an loidhnichean cinneasachaidh electronics.
• Sgrùdadh Achaidh Dorcha: Comasaich lorg lochdan fo 10nm le uachdaran sapphire gun sgrìoban, air an dearbhadh tro dheuchainn speactroscopaidh gus leughaidhean meallta a thoirt air falbh, deatamach airson smachd càileachd ann an cinneasachadh sliseagan 3nm far am faod lochdan beaga bìodach innealan a dhèanamh neo-obrachail.

Chrìochan

Earbsa le Luchd-nuadhachaidh

“A’ gluasad gu seo Sgàthan Spherical Sapphire Super Loss lughdaich sinn an ùine downtaidh againn air an t-siostam EUV le 40% agus aig an aon àm a’ leasachadh toradh wafer.”– Innleadair Siostaman Lithografaidh Masgaichte, Prìomh 3 OEMan Leth-chonnsachaidh

Taic Chruinneil, Eòlas Ionadail

• Taic Innleadaireachd 24/7: Fuasgail dùbhlain optaigeach anns an raon ùine agad.
• Dearbhadh air an làrach: Bidh na h-innleadairean againn a’ dèanamh deuchainn air coileanadh sgàthan anns an t-suidheachadh agad.
• Gèilleadh sùbailte: saothrachadh gun ITAR, sgrìobhainnean REACH/RoHS.

Deiseil airson do choileanadh optaigeach atharrachadh?

Clàraich airson taisbeanadh brìgheil leis an innleadair optaigeach againn no luchdaich sìos duilleag-dàta teicnigeach slàn (PDF)

CÀBHA

C: Ciamar a chumas na sgàthanan agaibh garbh-chruth <0.5 nm ann an àrainneachdan saothrachaidh le crith àrd?

A: Bidh ar bleith CNC agus crìochnachadh beam-ion a’ cuir às do chomharran innealan, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd eadhon rè ìreachadh luath de wafers.

C: An urrainn dhut sgàthan a chòmhdach airson siostaman EUV/DUV dà-thonnfhaid?

A: Tha – tha còmhdachaidhean dielectric-meatailteach measgaichte a’ toirt taic do obrachaidhean 13.5nm–193nm.

C: Dè an ùine stiùiridh agad airson luchd-cruinneachaidh EUV le trast-thomhas de 200mm?

A: 8 seachdainean le teisteanas a ghabhas lorg le NIST. Luathaich gu 5 seachdainean airson pròiseactan NPI èiginneach.

C: Ciamar a tha Sgàthan Spherical Sapphire Super Loss air a phacaigeadh airson lìbhrigeadh seòmar-glan?

A: Podan dà-shreath sàbhailte an aghaidh statach le glanadh naitridean Clas 1 ISO.

Cuir fios chun Sgioba Optaigeach againn an-diugh:

Deiseil airson na siostaman optigeach agad àrdachadh leis an ar Sgàthan Spherical Sapphire Super Loss? Tha an sgioba againn an seo gus do chuideachadh le ceistean no riatanasan àbhaisteach. Cuir fios thugainn aig xachaona@163.com no tadhal air an làrach-lìn againn airson tuilleadh fiosrachaidh.