Sgàthan spherical call sònraichte Crystal Silicon Super Low Loss

Sgàthan Spèireach Call Ìosal Singilte Silicon airson Siostaman EUV Mionaideach

Air a dhealbhadh gus garbh-uachdar <0.1 nm agus purrachd stuthan 99.9999% a choileanadh, tha ar Sgàthan spherical call sònraichte Crystal Silicon Super Low Loss ag ath-mhìneachadh cruinneas optaigeach airson litagrafaidheachd ultraviolet anabarrach (EUV), coimpiutaireachd cuantamach, agus siostaman aerospace. Le saothrachadh amalaichte gu dìreach bho fhàs criostail gu meatreòlas le teisteanas ISO, bidh sinn a’ lìbhrigeadh sgàthanan a chumas cruinneas uachdar λ/10 eadhon fo luchdan teirmeach 500K.

Chrìochan

Carson a tha na sgàthanan againn a’ coileanadh nas fheàrr

Foirfeachd Uachdar Ìre Atamach

• Rèidh fo-ångström: Coilean garbh-chruth Ra ≤0.12 nm tro chrìochnachadh magnetorheological, a’ cur às do sgapadh solais ann an litagrafaidheachd EUV agus sgrùdadh raon-dorcha - deatamach airson cinneasachadh sliseagan 3nm far am biodh eadhon neo-riaghailteachdan aig sgèile atamach a’ saobhadh solas 13.5nm, a’ dèanamh cinnteach à pàtranadh gun smal agus lorg lochdan.
• Gun mhilleadh fon uachdar: Bidh snasadh gun cuideam a’ cur casg air sgàinidhean air adhbhrachadh le laser, rud a tha deatamach airson sgàthanan cruinneachaidh EUV agus siostaman LDI, far am faodadh cuideam stuthan fàilligeadh tubaisteach adhbhrachadh fo chuislean àrd-chumhachd, a’ cumail suas ionracas tro chuairtean 10⁸+ ann an factaraidhean leth-chonnsachaidh.
• Co-ionannachd criostalagrafach: Tha claonadh treòrachaidh <0.1° air feadh an uachdair gu lèir a’ dèanamh cinnteach à feartan optigeach cunbhalach, rud a tha cudromach airson innealan cumadh is sgrùdaidh beam fotolithografach - tha an co-ionannachd seo a’ cur casg air tuiteaman coileanaidh ionadail, rud a tha deatamach airson saothrachadh nód 3nm earbsach agus mion-sgrùdadh lochdan àrd-chruinneas.

Coileanadh air a bharrrachadh le EUV

• Meòrachadh 95%+ aig tonn-fhaid 13.5 nm: A’ dèanamh cinnteach à cleachdadh as motha de foton ann an litagrafaidheachd EUV airson cinneasachadh sliseagan 3nm, far a bheil gach foton 13.5nm deatamach airson pàtraineadh mionaideach - bidh an meòrachadh àrd seo a’ lughdachadh call lùtha, ag àrdachadh an toraidh ann an factaraidhean leth-chonnsachaidh a tha an urra ri cleachdadh èifeachdach solais.
• Call gabhail <5 ppm eadhon aig sruth EUV 20 W/cm²: A’ cur casg air cus teasachadh agus crìonadh coileanaidh ann an siostaman EUV àrd-chumhachd, a’ cumail seasmhachd ann an sgàthan cruinneachaidh agus cumadairean beam fo shruth dian, deatamach airson casg a chuir air saobhadh teirmeach a mhilleadh pàtrain cuairte nód 3nm.
• Seasmhachd leudachaidh teirmeach 0.05 ppm/K: A’ gealltainn cunbhalachd tomhasach thar atharrachaidhean teòthachd ann an innealan EUV, a’ dèanamh cinnteach à cruinneas co-thaobhadh ann an siostaman fotolithografaidh agus sgrùdaidh - tha an seasmhachd seo a’ cur casg air mì-cho-thaobhadh a dh’ fhaodadh cruinneas saothrachaidh 3nm a chuir an cunnart, eadhon ged a bhios teòthachd obrachaidh ag atharrachadh.

Earbsachd deatamach airson misean

• Fad-beatha 10 bliadhna fo obrachadh àrd-lùtha 24/7: A’ dèanamh cinnteach à earbsachd fad-ùine ann an siostaman litagrafaireachd EUV a tha ag obair gu leantainneach, a’ lughdachadh ùine downt airson ath-chur ann an factaraidhean sliseagan 3nm - tha an seasmhachd seo a’ freagairt ris an fhaileasachd àrd agus an gabhail a-steach ìosal, a’ cumail suas coileanadh cunbhalach tro bhliadhnaichean de nochdadh dian do photon 13.5nm.
• Seasmhachd clisgeadh/crith a rèir MIL-O-13830A: A’ seasamh an aghaidh cuideam meacanaigeach ann an còmhdhail agus obrachadh, rud a tha deatamach airson innealan EUV a thèid a ghluasad eadar goireasan no a tha fosgailte do chreathadh factaraidh, a’ cur casg air atharrachaidhean co-thaobhadh a chuireadh dragh air pàtrain 3nm, a’ cur ri seasmhachd teirmeach airson neart iomlan.
• Còmhdaichean AR gnàthaichte gus meòrachadh cùil 632-1550 nm a chumail fodha: A’ cur às do bhacadh bho thonnan-fada air seachran ann an suidheachaidhean ioma-shiostam, a’ dèanamh cinnteach nach tèid solas EUV 13.5nm a mhilleadh - tha an mionaideachd seo a’ neartachadh cruinneas fotolithografaidh, a’ paidhir le gabhail ìosal gus èifeachdas saothrachaidh nód 3nm a bharrachadh.

Innleadaireachd mionaideach airson cinneasachadh sliseagan 3nm

Tha ar n- Sgàthan spherical call sònraichte Crystal Silicon Super Low Loss a’ comasachadh saothrachadh leth-chonnsachaidh den ath ghinealach le bhith:

1. A’ cur às do shaobhadh pàtrain tro chruinneas aghaidh-tonn λ/20

2. A’ lughdachadh chuairtean ath-chur sgàthan le 40% tro uachdaran gun lochdan

3. A’ cumail co-leanailteachd beam le gluasad teirmeach <0.001% aig 500K

Earbsa le Luchd-nuadhachaidh Cruinneil

"Às dèidh dhuinn gluasad gu na Sgàthan Spèireil aca, fhuair sinn toradh wafer 1.8% nas àirde anns an loidhne cinneasachaidh nód 5nm againn."– Prìomh Innleadair, Prìomh 3 OEMan Semiconductor

Gnàthachadh & Gèilleadh

• Sùbailteachd Meud: Bho mhicro-optaig φ7.5 mm gu fo-stratan 100 mm
• Roghainnean còmhdach:
• Leathan-bann UV-IR (250-2000 nm)
• Leusair le leud-loidhne cumhang (±0.1 nm)
• Cruachan ioma-fhilleadh air an leasachadh le EUV
• Certifications:
• Riochdachadh le teisteanas ISO 9001/14001
• Saor bho ITAR, a rèir REACH/ROHS
• Ullachadh iomlan airson sgrùdadh solaraiche ASML

Ceistean Cumanta

C: Ciamar a chuireas tu casg air deformachadh teirmeach ann an tagraidhean àrd-chumhachd?

A: Bidh na sgàthanan againn a’ cleachdadh CTE ìosal (0.05 ppm/K) silicon aon-chriostail còmhla ri dealbhaidhean sreap gun cuideam, a’ cuingealachadh claonadh cumadh gu <1 nm eadhon aig 500K.

C: Dè na ceumannan smachd càileachd a nì cinnteach à uachdaran gun lochdan?

A: A h-uile Sgàthan spherical call sònraichte Crystal Silicon Super Low Loss a' dol:

• Eadar-theachd solais gheal (rùn 0.1 nm)
• Mapadh lochdan 100% tro mhicreasgopaidh raon-dorcha
• Deuchainn LIDT gu 50 MW/cm²

C: An urrainn dhut a bhith a rèir sònrachaidhean còmhdach OEM a th’ ann mar-thà?

A: 'S e. Roinn na riatanasan lùb ath-fhaileasachd agad, agus bheir an sgioba còtaidh againn fuasglaidhean a tha air an leasachadh a thaobh call taobh a-staigh 72 uairean.

Iarr do Mhodaileadh Sgàthan an-asgaidh

Deiseil airson na siostaman optigeach agad àrdachadh leis an ar Sgàthan spherical call sònraichte Crystal Silicon Super Low Loss? Tha an sgioba eòlaichean againn an seo gus do chuideachadh le bhith a’ lorg am fuasgladh foirfe airson do phròiseact.

Email: xachaona@163.com