Sgàthan meòrachail leudachaidh fìor ìosal

 Carson a thaghas tu ar sgàthan meòrachail leudachaidh ìosal?

Nuair a tha cruinneas cudromach, ar Sgàthan meòrachail leudachaidh fìor ìosal a’ lìbhrigeadh coileanadh gun choimeas anns na h-àrainneachdan as dùbhlanaiche. Air an dealbhadh airson factaraidhean leth-chonnsachaidh, siostaman aerospace, agus tagraidhean laser àrd-chumhachd, tha na sgàthanan seo a’ cothlamadh leudachadh teirmeach faisg air neoni le cruinneas uachdar fo-nanometer. Smaoinich air optaig a chumas an cumadh agus an comas meòrachaidh eadhon fo atharrachaidhean teòthachd luath - sin a gheibh thu leis an teicneòlas glainne-ceirmeach againn.

Buannachdan bunaiteach

• Innealan Litagrafaidh EUV: A’ meòrachadh solas 13.5 nm le call lùtha as lugha airson pàtranachadh wafer nas géire, rud a tha deatamach airson sgoltagan leth-chonnsachaidh 3nm agus nas lugha a dhèanamh. Bidh rèidhleanachd aig ìre atamach a’ dèanamh cinnteach à meòrachadh 99.999%, agus chan eil saobhadh teirmeach sam bith ann a chuireas casg air mì-thaobhadh, a’ meudachadh toradh ann an factaraidhean àrd-tomhas far a bheil buaidh dhìreach aig mionaideachd air èifeachdas cinneasachaidh.
• Sgrùdadh Wafer Leusair: Lorg lochdan fo-3nm le bhith a’ cleachdadh stiùireadh beam gun shaobhadh, air a chomasachadh le sgàthan le garbh-chruth RMS <0.5 nm. Tha an cruinneas seo a’ dèanamh cinnteach à mapadh lochdan ceart thar wafers, a’ cuideachadh luchd-saothrachaidh gus lochdan aithneachadh tràth agus ìrean sgudail a lughdachadh ann an cinneasachadh sliseagan adhartach.
• Siostaman Laser Àrd-chumhachd: Làimhsich gathan ìre kW gun lùbadh uachdar no milleadh còmhdach, le taing do chòmhdach ioma-fhilleadh seasmhach agus bun-stuthan seasmhach a thaobh teirm. Bidh na sgàthanan seo a’ cumail suas ionracas ann an suidheachaidhean gnìomhachais 24/7, a’ cur casg air tuiteaman coileanaidh ann an tagraidhean gearraidh, tàthaidh no giullachd stuthan.
• Optaig Fànais: Seasamh ri atharrachaidhean teirmeach orbital fhad ‘s a chumas iad co-thaobhadh optigeach, a’ cleachdadh stuthan CTE faisg air neoni a tha an aghaidh atharrachaidhean meudach bho -50 ° C gu 150 ° C. Tha an seasmhachd seo a’ dèanamh cinnteach à ìomhaighean cunbhalach ann an saidealan agus teileasgopan, far am biodh mì-cho-thaobhadh air adhbhrachadh le teirmeach a’ cur bacadh air dàta deatamach misean.

Chrìochan

Far a bheil e a’ coileanadh as fheàrr

• Lithografaidh Leth-sheoltairean: Cuir casg air mearachdan còmhdach ann an cinneasachadh sliseagan 3nm le sgàthanan fìor-mhionaideach aig a bheil garbh-chruth RMS <0.5nm agus leudachadh teirmeach faisg air neoni. Bidh na co-phàirtean seo a’ dèanamh cinnteach à cruinneas co-thaobhadh thar nochdaidhean a-rithist is a-rithist, rud a tha deatamach airson sreathan cuairteachaidh nanosgèile a chruachadh gun mhì-cho-thaobhadh a mhilleadh toradh ann an factaraidhean àrd-tomhas-lìonaidh.
• Giroscopan Leusair: A’ comasachadh seòladh gun drift airson siostaman aerospace le bhith a’ cumail suas slighean beam seasmhach tro sgàthanan ìosal-sgapadh le atharrachadh meòrachail <0.1%. Bidh an cruinneas seo a’ cur às do drift comharran air adhbhrachadh le neo-fhoirfeachdan optigeach, a’ dèanamh cinnteach à dàta treòrachaidh ceart airson itealain, saidealan, agus siostaman stiùiridh urchraichean.
• Siostaman Meatreòlais: Tomhais le mionaideachd aig sgèile atamach le bhith a’ cleachdadh sgàthan a chaidh a dhealbhadh airson cruinneas uachdar λ/20 agus sgapadh solais as lugha. Bidh na co-phàirtean seo a’ neartachadh coileanadh interferometer, a’ glacadh atharrachaidhean meudach fo-nanometer ann an wafers leth-chonnsachaidh, co-phàirtean optigeach, agus pàirtean innealaichte gu mionaideach.
• Lasairean Àrd-chumhachd: A’ làimhseachadh ghathan ìre kW gun shaobhadh tro shubstratan seasmhach a thaobh teirm agus còtaichean ioma-fhilleadh làidir. Le bhith a’ seasamh an aghaidh lùbadh agus crìonadh còtaichean air adhbhrachadh le teas, bidh na sgàthanan seo a’ cumail suas ionracas a’ ghatha ann an tagraidhean gearraidh, tàthaidh agus peening gnìomhachais, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach ann an obrachaidhean 24/7.

Air a thogail gus mairsinn nas fhaide agus coileanadh nas fheàrr

gach Sgàthan meòrachail leudachaidh fìor ìosal a' dol:

✅ Sgrùdadh eadar-theachdaireachd 100%

✅ Deuchainn clisgeadh teirmeach 500-cearcall

✅ Simulachaidhean aosachaidh luathaichte (co-ionann ri 15 bliadhna)

✅ Pacadh fo smachd truailleadh (IEST-STD-1246)

“Gun ùine downtaidh sam bith bho bhith a’ gluasad teirmeach bho chaidh na sgàthanan seo a stàladh.” – Stiùiriche Fabraice Semiconductor

3 Adhbharan airson gur sinn an roghainn glic

1. Nas fheàrr na silica leaghte: CTE 40% nas ìsle, uachdaran 10x nas rèidhe.

2. Dearbhaichte ann an Riochdachadh: Solaraichean dearbhte do ASML, Nikon, agus TSMC.

3. Saothrachadh Seasmhach: 95% de stuth còmhdaich air ath-chuairteachadh.

Ceistean Bitheanta

C: Ciamar a chumas tu uachdaran gun lochdan rè còmhdach?

A: Bidh ar pròiseas sputtering beam ian a’ tachairt ann an seòmraichean-glan ISO Clas 1 le sgrùdadh tighead fìor-ùine.

C: Dè na dòighean glanaidh a tha sàbhailte?

A: Cleachd ceò IPA no sneachda CO2 – bidh sinn a’ toirt seachad protocolaidhean mionaideach le gach òrdugh.

C: An urrainn dhut tomhasan siostam dìleab a mhaidseadh?

A: 'S e! Chruthaich sinn sgàthan gnàthaichte airson innealan litografaidh bho na 1980an a tha fhathast ag obair.

Deiseil airson do choileanadh optaigeach ùrachadh?

✅ Prògram Sampall an-asgaidh: Dèan deuchainn air Sgàthan meòrachail leudachaidh fìor ìosal anns an tagradh agad.

✅ Taic Innleadaireachd 24/7: Bho phròtatàipeadh gu òrdughan meud.

✅ Ùine stiùiridh 15 latha: Le roghainnean luathaichte.

Cuir fios chun na sgioba againn an-diugh gus beachdachadh air na riatanasan agad:

📧 xachaona@163.com