Fo-strat sgàthan silica ceangailte

Bun-stuth sgàthan silica leaghte: innleadaireachd mionaideach airson optaig ùr-nodha

Nuair a bhios feum agad air fo-stratan sgàthan a bheir seachad coileanadh gun cho-rèiteachadh ann an àrainneachdan anabarrach, ar Fo-strat sgàthan silica ceangailte ’S e an ìre òir a th’ ann. Air an dèanamh à silica sintéiseach fìor-ghlan, tha na fo-stratan seo a’ soirbheachadh ann an litografaidh EUV, sgrùdadh leth-chonnsachaidh, agus siostaman laser àrd-chumhachd far nach eil seasmhachd teirmeach (CTE <5 ppb/K) agus rèidhleanachd uachdar λ/10 ri cho-rèiteachadh. Le còrr is 20 bliadhna de eòlas ann an optaig mionaideach, tha sinn air fo-stratan a dhealbhadh a choinnicheas ri riatanasan MIL-SPEC, SEMI, agus ASML-ìre agus aig an aon àm a’ toirt taic do prototàpadh luath agus òrdughan àrd-tomhas-lìonaidh.

Carson a tha na fo-stratan silica co-leaghte againn a’ coileanadh nas fheàrr

1. Seasmhachd anabarrach san àrainneachd

• Seasmhachd Teirmeach: A’ cumail suas leudachadh <5 ppb/K bho -60°C gu 200°C
• Seasmhachd an aghaidh leusair: A’ seasamh an aghaidh >10 J/cm² @ 355nm (freagarrach airson leusairean excimer)
• Cruadhachadh Rèididheachd: Gun chrìonadh sam bith fo nochdadh fada EUV / X-ghath

2. Mionaideachd Uachdar Ìre Atamach

• Roughness fo-Ångström: Ra <0.5Å air a dhearbhadh tro AFM
• Cothromachd nanometer: A’ coileanadh λ/20 thairis air trast-thomhas 300mm
• Snasadh gun cuideam: A’ lughdachadh saobhadh aghaidh-tonn

3. Air a thogail gu sònraichte airson do shruth-obrach

• Roghainnean Trast-thomhas: 10mm gu 450mm (fulangas ±0.1mm)
• Còmhdaichean: ioma-fhilleadh AR, HR, DLC, no EUV (air an leasachadh airson 13.5nm)
• Pròifilean Oir: Air an gearradh ann an camagan, air an lùbadh ann an claisean, no deiseil airson meatreòlais

Chrìochan

Nota: Sònrachaidhean gnàthaichte rim faighinn ma thèid an iarraidh gus coinneachadh ri na feumalachdan sònraichte agad.

Far a bheil Mionaideachd as Cudromaiche

• Siostaman Litagrafaireachd EUV: Bidh fo-stratan sgàthan le <0.1 lochdan/cm² a’ dèanamh cinnteach à pàtranadh wafer gun lochdan aig nodan 3nm, rud a tha na bhriseadh-dùil airson saothrachadh leth-chonnsachaidh adhartach. Bidh an dùmhlachd lochdan ìosal seo a’ cur casg air saobhadh pàtrain rè litagrafaireachd ultraviolet anabarrach, a’ comasachadh cinneasachadh sgoltagan nas lugha, nas cumhachdaiche a bhios a’ stiùireadh ùr-ghnàthachadh coimpiutaireachd is eileagtronaigeach an ath ghinealach.
• Meatreòlas leth-sheoltairean: Leigidh rèidhleanachd λ/40 le cruinneas tomhais fo-nm ann an innealan sgrùdaidh còmhdach, rud a tha deatamach airson dearbhadh co-thaobhadh sliseagan rè saothrachadh. Tha an rèidhleanachd shònraichte seo a’ dèanamh cinnteach à sgrùdaidhean tomhasach mionaideach, a’ cuideachadh luchd-saothrachaidh leth-sheoltairean gus smachd càileachd teann a chumail suas agus coinneachadh ris na fulangasan teann a tha a dhìth airson meanbh-sliseagan àrd-choileanaidh.
• Optaigs Leusair Àrd-chumhachd: Le stairsneach milleadh leusair 5 uiread nas àirde an taca ri silica leaghte àbhaisteach, tha na optaigs seo a’ soirbheachadh ann an siostaman leusair àrd-dian. Bidh iad a’ seasamh an aghaidh ìrean lùtha anabarrach gun mhilleadh, gan dèanamh freagarrach airson gearradh gnìomhachais, tagraidhean lùtha air an stiùireadh le armachd, agus rannsachadh saidheansail far a bheil coileanadh earbsach fo chumhachd dian air leth cudromach.
• Optaig Fànais is Dìon: Bidh ìrean a tha air an cruadhachadh le rèididheachd a’ mairsinn suidheachaidhean orbital LEO/GEO, a’ seasamh ri rèididheachd chosmach agus atharrachaidhean teòthachd anabarrach. Bidh na optaig sin a’ cumail seasmhachd ann am mothachairean saideal, siostaman stiùiridh urchraichean, agus teileasgopan fànais, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach ann an àrainneachd chruaidh fànais agus obrachaidhean dìon èiginneach.

Càileachd cinnteach, a h-uile uair

• Sgrùdadh Uachdar 100%: dearbhadh Zygo GPI-XP & Bruker AFM
• Lorg-lorg: Teisteanasan sònraichte don bhaidse le dàta susbaint CTE/OH⁻
• Gèilleadh: ISO 9001, IATF 16949, SEMI F57

Air a dhealbhadh a rèir do fheumalachdan mionaideach

Co dhiubh a tha feum agad air:

• Prototaipean: Ùine tionndaidh 6 seachdainean airson sampallan R&D
• Meudan Àrda: comas 10,000+ fo-stratan/mìos
• Dealbhaidhean Tar-chinealach: Rèiteachaidhean ro-shuidhichte no ro-chòmhdaichte

Bidh na h-innleadairean againn ag obair gu dìreach leis an sgioba agad gus sònaichean eas-chruthachaidh oir, eadar-aghaidhean sreap, agus modalan deformachaidh teirmeach a bharrachadh.

Tha earbsa aig Global Leaders

“Às dèidh dhaibh gluasad chun an cuid fo-strat sgàthan silica leaghte, thuit ar mearachdan co-thaobhadh innealan EUV le 37%.

– Innleadair Optaigeach, Prìomh 3 OEMan Leth-chonnsachaidh

Tòisich a-nis an-diugh

Luchdaich a-nuas: [Duilleag-dàta fo-strat silica leaghte] | [Aithisg gèillidh SEMI]

A bheil feum agad air fuasgladh gnàthaichte?

Cuir post-d gu xachaona@163.com airson:

• Luachan èiginneach (freagairt <24 uair)
• Co-chomhairlean dealbhaidh còmhdach
• Lèirmheasan pròiseict fo dhìon NDA

Ceistean Cumanta: Freagairtean do na prìomh cheistean agad

C: Dè am meud as motha den t-substrate agad?

A: Bidh sinn gu cunbhalach a’ dèanamh fo-stratan le trast-thomhas de 800mm agus le rèidhleanachd <λ/10.

C: A bheil sibh a’ dèanamh deuchainn air ath-fhaileas EUV?

A: Tha – bidh sinn a’ toirt seachad mapaichean ath-fhaileasachd 13.5nm air an tomhas aig PTB/BESSY II.

C: Ciamar a chuireas tu casg air milleadh luingeis?

A: Pacadh trì-shreath (film VCI, desiccant, cùisean cruaidh) le mothachairean clisgeadh.

C: An urrainn dhut dealbhan OEM a mhaidseadh?

A: Tha sinn air fo-stratan teisteanasach a dhearbhadh airson 7/10 de na prìomh luchd-saothrachaidh leth-chonnsachaidh – cuir thugainn na sònrachaidhean agad.

C: Dè mu dheidhinn smachd air truailleadh?

A: Tha na seòmraichean-glan againn a’ coileanadh nas fheàrr na inbhean Clas 14644 ISO 1-5.

Cuir fios thugainn

Nuair a dh’ fheumas na siostaman optigeach agad fo-stratan a chothromaicheas cruinneas aig ìre atamach le seasmhachd gnìomhachais, bidh ar… Fo-strat sgàthan silica ceangailte fuasglaidhean a’ lìbhrigeadh. Cuir fios thugainn xachaona@163.com gus beachdachadh air a’ phròiseact agad – togaidh sinn am bunait airson an ath adhartas agad.