Nuair a dh’fheumas na pròiseactan agad soilleireachd optigeach agus seasmhachd teirmeach cha mhòr foirfe, Fo-strat sgàthan Super Smooth air a leaghadh a’ lìbhrigeadh coileanadh gun choimeas. Le garbh-uachdar fo 0.5 nm RMS agus rèidhleanachd λ/10 aig 633 nm, bidh na fo-stratan sin a’ lughdachadh sgapadh solais eadhon ann an àrainneachdan anabarrach. Air an dealbhadh airson tagraidhean aerospace, leth-chonnsachaidh, agus laser, bidh iad a’ cothlamadh crìochnaidhean ultra-rèidh le stairsneach milleadh laser àrd (40 J/cm² @ 1064nm) gus coinneachadh ri inbhean teann gnìomhachais.
| paramadair | Sònrachadh |
|---|---|
| Tomhas | D=φ12.7-φ100mm(±0.01), H=4-8mm (customizable)(±0.05) |
| Meud kickoff | 1/2D < Meud kickoff < D (gnàthaichte) |
| Radius curvature | SR = 500-8000 (customizable), mionaideachd ± 0.05% |
| Cruinneas uachdar | λ/2-λ/10@632.8nm |
| Cruinneas spherical | 30"-3′ |
| Garbh | Ra0.12nm (Zygo profiler, 173 * 173μm sgìre) |
| stuthan | ULE, silica fuasgailte, zerodur, sapphire, K9, sileacon criostail singilte |
| iarrtas | Leusair àrd-chumhachd, sgrùdadh optigeach àrd-chruinneas, saothrachadh leth-sheoltairean, sgrùdadh leth-sheoltairean |
| Chan eil comharran sònraichte san raon gu h-àrd, agus faodar an gnàthachadh a rèir feumalachdan an neach-cleachdaidh. | |
Nota: Faodar mion-chomharrachadh a ghnàthachadh gus coinneachadh ri na riatanasan sònraichte agad.

1. Cuir a-steach Riatanasan: Roinn sònrachaidhean/dealbhan tro phost-d
2. Lèirmheas Dealbhaidh: Faigh fios-air-ais innleadaireachd taobh a-staigh 72 uairean
3. Prototaip: Faigh aonadan deuchainn ann an 14 latha
4. Riochdachadh: Sgèile le càileachd le teisteanas baidse

“Fhuair uachdaran cunbhalach RMS 0.32nm fuasgladh air na dùbhlain againn a thaobh sgàthan cruinneachaidh EUV.”– Ceannard Gnìomhachas Leth-stiùiriche

1. Ciod a tha deanamh Fo-strat sgàthan Super Smooth air a leaghadh freagarrach airson lasers?
Tha an garbh-chruth <0.5nm aca a’ lughdachadh sgapadh, agus tha LIDT àrd (40 J/cm²) a’ cur casg air milleadh air a’ ghathan.
2. An urrainn dhut fo-stratan a chruthachadh a tha nas motha na 500mm?
'S e – cuir fios thugainn airson fuasglaidhean mòr-chruth gnàthaichte suas ri 800mm.
3. Ciamar a tha feartan teirmeach an coimeas ri Zerodur?
Tha an silica leaghte againn a’ tabhann tar-chur UV nas fheàrr agus CTE nas ìsle (0.55 an aghaidh 0.85 x10⁻⁶/K).
4. Dè na còtaichean a tha thu a’ moladh airson litografaidh UV?
Còmhdaichean dielectric sputtered le ian-beam le gabhail a-steach <0.1% aig 13.5nm.
Deiseil airson na siostaman optigeach agad àrdachadh leis an ar Fo-strat sgàthan Super Smooth air a leaghadh? Tha an sgioba againn an seo gus do chuideachadh le ceistean no riatanasan àbhaisteach. Cuir fios thugainn aig xachaona@163.com, agus bruidhnidh sinn air mar as urrainn dhuinn taic a thoirt don ath phròiseact agad.
Ionnsaich mu na toraidhean agus na lasachaidhean as ùire againn tro SMS no post-d