Bun-stuth sgàthan rèidh aon-taobhach airson lithografaidh, sgrùdadh wafer & mothachairean optigeach
Nuair a dh’fheumas na siostaman optaigeach agad foirfeachd, bidh ar Substrate sgàthan còmhnard Super Smooth Taobh Singilte a’ lìbhrigeadh. Air an innleachadh airson litagrafaireachd leth-chonnsachaidh, innealan sgrùdaidh wafer, agus mothachairean àrd-mhothachaidh, bidh na fo-stratan sin a’ coileanadh garbh-uachdar <0.5nm agus rèidhleanachd λ/10—a’ dèanamh cinnteach à coileanadh gun shaobhadh eadhon anns na h-àrainneachdan as dùbhlanaiche. Air an dèanamh bho stuthan fìor sheasmhach leithid silica leaghte no Zerodur®, tha earbsa aig luchd-saothrachaidh Fortune 500 annta gus cuir às do lochdan uachdar agus gluasad teirmeach.
Carson a thaghas tu na fo-stratan sgàthan againn?
- Mionaideachd Nanometer: Coilean garbh-chruth cunbhalach <0.5nm RMS le bhith a’ cleachdadh snasadh seilbhe, a’ dèanamh cinnteach à uachdaran rèidh a lughdaicheas sgapadh solais. Tha an mionaideachd seo deatamach airson optaig àrd-inbhe ann an siostaman litografaidh leth-chonnsachaidh agus laser, far am faodadh eadhon neo-riaghailteachdan beaga bìodach slighean solais èiginneach a bhriseadh no soilleireachd ìomhaighean a lughdachadh.
- Seasmhachd Teirmeach: Bidh stuthan leudachaidh faisg air neoni a’ cur casg air saobhadh fo atharrachaidhean teòthachd (-60°C gu +300°C), a’ cumail suas ionracas tomhasach ann an àrainneachdan anabarrach. Freagarrach airson mothachairean aerospace, àmhainnean gnìomhachais, agus optaig chàraichean, tha an seasmhachd seo a’ dèanamh cinnteach à coileanadh earbsach ge bith a bheil e fosgailte do fhuachd reòta no teas dian.
- Freagarrachd Gnàthaichte: Gnàthaich tomhasan (100mm–450mm), còtaichean, no làimhseachadh oirean airson an tagraidh agad, bho sgòpan meidigeach teann gu sgàthanan gnìomhachais mòra. Leigidh an gnàthachadh seo le amalachadh gun fhiosta a-steach do shiostaman gun samhail, a’ leasachadh coileanadh agus a’ lughdachadh ùine cruinneachaidh agus a’ dèanamh cinnteach à freagarrachd foirfe airson feumalachdan obrachaidh sònraichte.
- Gèilleadh Geallta: Air a choileanadh le inbhean ISO 9001/14001 agus SEMI le làn lorg-sgrìn, a’ dèanamh cinnteach à càileachd agus uallach àrainneachdail. Bidh na teisteanasan seo a’ sìmpleachadh amalachadh ann an slabhraidhean solair cruinneil, bho factaraidhean leth-chonnsachaidh gu pròiseactan aerospace, a’ toirt misneachd ann an gèilleadh ri riaghailtean agus earbsachd cunbhalach toraidh.
Chrìochan
| paramadair |
Sònrachadh |
| Tomhas |
D = φ10-φ100mm (fulangas ± 0.1), H = 3-30mm (fulangas ± 0.5) |
| Cruinneas uachdar |
λ/2-λ/10@632.8nm |
| Mearachd co-shìnte |
<15 " |
| Garbh |
Raon deuchainn aon-taobh Ra0.12nm (Zygo profilometer) 173 * 173um tomhas làn tricead |
| Roghainnean stuthan |
ULE, silica fuasgailte, zerodur, sapphire, K9, sileacon criostail singilte |
Nota: Faodar mion-chomharrachadh a ghnàthachadh gus coinneachadh ri na feumalachdan sònraichte agad.

Prìomh thagraidhean
Bho sgàthan litagrafaireachd EUV gu mothachairean hyperspectral, tha na fo-stratan againn a’ comasachadh:
- ✅ Saothrachadh Leth-sheoltairean: Lùghdaich mearachdan còmhdach ann an innealan litagrafaireachd stoidhle ASML le optaig fìor mhionaideach, a’ dèanamh cinnteach à cruinneas co-thaobhadh sìos gu nanosgèile. Tha an cruinneas seo deatamach airson sgoltagan adhartach a dhèanamh, far am faod eadhon mì-cho-thaobhadh beaga bìodach pàtrain cuairte a mhilleadh agus toradh a lughdachadh ann an cinneasachadh mòr-mheud.
- ✅ Sgrùdadh Uaifearan: Lorgaidh tu lochdan fo-10nm le optaig rèidh λ/20, a leigeas le sgrùdadh mionaideach a dhèanamh air uachdar nan uaifearan. Bidh na co-phàirtean àrd-chruinneas seo a’ dèanamh cinnteach nach tèid lochdan sam bith gun mhothachadh, rud a tha deatamach airson ìrean càileachd leth-chonnsachaidh a chumail suas agus casg a chuir air sgoltagan lochtach bho bhith a’ dol a-steach don t-sèine solair.
- ✅ Siostaman Leusair: Cùm co-leanailteachd beam ann an leusairean gnìomhachais àrd-chumhachd tro phàirtean optigeach seasmhach a sheasas an aghaidh saobhadh teirmeach. Tha an co-leanailteachd seo a’ dèanamh cinnteach à sgaoileadh lùtha cunbhalach, rud a tha riatanach airson gearradh, tàthadh agus giullachd stuthan mionaideach ann an àrainneachdan saothrachaidh.
- ✅ Optaigs Fànais: Seasaidh iad ri cearcallan teirmeach orbital agus glèidh iad co-thaobhadh, le taing do stuthan le leudachadh teirmeach cha mhòr neoni. Tha an earbsachd seo a’ dèanamh cinnteach gu bheil teileasgopan agus mothachairean a’ glacadh dàta soilleir, eadhon ged a bhios an teòthachd ag atharrachadh gu mòr ann am falamh cruaidh an fhànais, a’ toirt taic do sgrùdadh agus rannsachadh fànais leantainneach.
Air a thogail airson àrainneachdan èiginneach
Roghainnean Stuth
- ULE®/Zerodur®: Leudachadh teirmeach faisg air neoni airson deuchainn-lannan meatreòlais.
- Silica Leaghte: Freagarrach airson tagraidhean laser UV le purrachd 99.99%.
- Sapphire: Seasmhachd anabarrach an aghaidh sgrìoban airson suidheachaidhean gnìomhachais cruaidh.
teisteanasan
- 100% air a mhapadh den uachdar tro eadar-theachd-eòlas Zygo.
- Dearbhaichte le MIL-STD-810G airson strì an aghaidh clisgeadh/crith.
- A’ gèilleadh ri RoHS/REACH airson luchdan cruinneil.
Gnàthachadh gun cho-rèiteachadh
Feum air fo-strat a tha freagarrach agad sònrachaidhean? Tha sinn a’ tabhann:
1. Atharrachaidhean Trast-thomhas/Tiughas: Ann an àrdachaidhean 5mm.
2. Làimhseachadh Oir: Chamfering mionaideach (0.1mm–0.5mm).
3. Còmhdaichean: sreathan AR/HR air an leasachadh airson tonn-fhaid 248nm–1550nm.
4. Sreathachadh: IDan air an gràbhaladh le laser airson comas-leantainn.
Tha earbsa aig stiùirichean gnìomhachais
“Tha an cuid Substrate sgàthan còmhnard Super Smooth Taobh Singilte lùghdaich sinn an ìre ath-obrach litografaidh againn le 22%.– Prìomh 5 OEMan leth-sheoltairean
“Cothromachd cunbhalach λ/10 thar còrr is 500 aonad airson ar siostaman sgrùdaidh wafer.”Solaraiche Optaigeach Cruinneil
Roghainnean Òrdachaidh Sùbailte
Bataichean beaga
- Taic prototàpaidh le amannan stiùiridh 2 sheachdain.
- Pacadh falamh-sèalaichte gus casg a chur air truailleadh.
Lùghdachaidhean àrd-lìonaidh
- 50+ aonad: Riochdachadh prìomhachais + lìbhrigeadh 8 seachdainean.
- 200+ aonad: Sgioba càileachd sònraichte + prìsean mòr-chuid.

CÀBHA
C: Ciamar a nì thu cinnteach gu bheil garbh-uachdar <0.5nm?
A: Bidh sinn a’ cleachdadh pròifil-mheatairean Zygo airson mapadh làn-tricead 173x173μm air gach Substrate sgàthan còmhnard Super Smooth Taobh Singilte .
C: An urrainn dhomh còmhdach a tha an aghaidh ESD fhaighinn?
A: Tha—tha còmhdach gnàthaichte rim faighinn airson seòmraichean-glan leth-chonnsachaidh.
C: Dè an ùine luaidhe a th’ ann airson fo-stratan ULE® 300mm?
A: 6 seachdainean àbhaisteach; tha àiteachan luathaichte fosgailte airson feumalachdan èiginneach.
Fios
Deiseil airson na siostaman optigeach agad àrdachadh leis an ar Substrate sgàthan còmhnard Super Smooth Taobh Singilte? Cuir fios chun sgioba eòlaichean againn an-diugh gus beachdachadh air na riatanasan agad agus gus cuòt gnàthaichte fhaighinn.
Email: xachaona@163.com